マイクロエレクトロニクス及び半導体製造

最も厳しい用途にも対応する極めて高い柔軟性。

剛性を最小限に抑え、設置スペースも最小限に抑えつつ、最高の柔軟性を実現。当社のダイヤフラムベローズは、クリーンエリアと機能エリアを確実に分離します。これにより、プロセスを汚染から保護し、クリーンルームの品質を一定に保つことができます。

各部品は、お客様の用途に合わせて精密に調整されます。

デリケートなアセンブリの耐用年数の延長

漏れや汚染のリスクを最小限に抑制

既存のクリーンルームシステムへの容易な統合

波形ホース（高純度波形ホース）

柔軟かつ堅牢。

ガス、液体、真空環境において絶対的な清浄性を確保。

金属製、ハイブリッド製、編組あり・なしを問わず、当社の波形ホースは、狭い曲率半径や長距離でも媒体を確実に搬送します。個別に構成することで、お客様のシステムにぴったりと適合します。その結果、最高レベルの清浄度を保ちながら柔軟な接続を実現します。

複雑なプラントレイアウトにおける配管の簡素化

柔軟な構造による高い稼働信頼性

個別調整による組立時間の短縮

• 真空バルブ向けの、高疲労限界メタルベローズ
• 高い柔軟性を持つダイアフラム型ベローズ
• 非常に高い清浄度が要求される用途向けフレキシブルメタルホース
• 光学用途向け精密ベローズ/ アクチュエータ

• 水性成分洗浄の為の様々な自動及び手動システム
• 製品内の残留水分へのもっとも厳しい基準を達成する為の真空乾燥機
• ISO 14644 クラス5のクリーンルームに対応する独立した製造環境

製品品質を確かめる為に、クリーンルーム条件化ですべての標準製品試験を提供しています。

• ヘリウム式リークテスト
• 紫外線による表面目視検査
• 金属及び有機粒子の分析
• ガス放出挙動の特定

クリーンルーム製品の専用個別包装により、製品を直接クリーンな環境に供給できます。